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1.准值仪4种孔径内藏式
仪器测量直径最小可达到150微米。可供选择的准直器直径
有0.1、0.2、0.3和1.5毫米。
2.自动测定测量台
利用滑鼠来调整测量位置，非常敏捷快速。自动聚焦，或是测量位置已完成登陆时，可连续自动测定，利用座标补正、连结频道，来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。
3.优越的机能
配有超大功率X射线光管和高灵敏度探测器，能够满足复杂样品和微小测试面积的检测需求。
4.测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置，可由倍率更机能来实现尽面上测出物放大。
5.在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示，操作简单。
提长资料处理的速度
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